금속박막증착장치
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 우성하이백 |
모델명 | WC-4000 |
장비사양 | |
취득일자 | 2010-01-12 |
취득금액 |
보유기관명 | 울산과학기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C504 |
표준분류명 | 분석 |
시설장비 설명 | - e-beam source인 hot filament 에 전류를 공급하여 발생하는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여 증착재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로 증착 재료가 가열되어 증발하는데 이때 윗부분에 위치한 기판에 박막이 형성되는 원리를 이용한다. |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927154247.jpg |
장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2013-01-174009 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812172450 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |