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장비

장비 및 시설 기본정보

금속박막증착장치

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 우성하이백
모델명 WC-4000
장비사양
취득일자 2010-01-12
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C504
표준분류명 분석
시설장비 설명 - e-beam source인 hot filament 에 전류를 공급하여 발생하는 전자 beam을 전자석에 의한 자기장으로 유도하여 증착재료에 위치시키면 집중적인 전자의 충돌로 증착 재료가 가열되어 증발하는데 이때 윗부분에 위치한 기판에 박막이 형성되는 원리를 이용한다.
장비이미지코드 https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927154247.jpg
장비위치주소 울산과학기술대학교 자연과학관
NFEC 등록번호 NFEC-2013-01-174009
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812172450
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)