스퍼터 시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Ulvac |
모델명 | MPS-8000-C4SP |
장비사양 | |
취득일자 | 2008-04-11 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C500 |
표준분류명 | 기타 |
시설장비 설명 | 산화물 반도체 박막의 신조성 탐색을 위한 멀티타깃 스퍼터링 시스템 FPD 및 반도체, 전자부품 소자용 물리적 박막 증착장비 - 박막물질의 기판에 운동에너지를 가하여 물리적으로 분리시켜 다른 기판에 증착 - 대응 Size : piece ~ 4 inch wafer/glass |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/20150115104515512.jpg |
장비위치주소 | 한국생산기술연구원 나노기술집적센터 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2015-01-196067 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00767 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |