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장비

장비 및 시설 기본정보

스퍼터 시스템

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 Ulvac
모델명 MPS-8000-C4SP
장비사양
취득일자 2008-04-11
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 한국생산기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C500
표준분류명 기타
시설장비 설명 산화물 반도체 박막의 신조성 탐색을 위한 멀티타깃 스퍼터링 시스템 FPD 및 반도체, 전자부품 소자용 물리적 박막 증착장비 - 박막물질의 기판에 운동에너지를 가하여 물리적으로 분리시켜 다른 기판에 증착 - 대응 Size : piece ~ 4 inch wafer/glass
장비이미지코드 http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201501/20150115104515512.jpg
장비위치주소 한국생산기술연구원 나노기술집적센터
NFEC 등록번호 NFEC-2015-01-196067
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00767
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)