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장비

화학기상증착시스템

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보유기관명	대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C507
표준분류명	분석
시설장비 설명	진공상태에서 박막을 증하는 방법. 증착이 일어나는 공간(chamber)내를 진공상태로 만들어 대기중에 있는 공기로 인해 생길 수 있는 부산물의 밀도를 낮추고 증착속도 등을 원활히 하는 방식
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201301/화학기상증착시스템.jpg
장비위치주소	대구경북과학기술원 중앙기기센터
NFEC 등록번호	NFEC-2013-02-174787
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812171142
첨부파일