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특허 실용신안

높은 질소 함량을 갖는 실리콘 니트라이드 막

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2020-7002811
출원일자	2020-01-29
공개번호	20200206
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	더 높은 질소 함량을 갖는 실리콘 니트라이드 막들을 증착시키기 위한 방법들이 기재된다. 특정 방법들은 기판을 규소-질소 전구체 및 암모니아 플라즈마에 노출시켜 유동성 폴리머를 형성시키고, 이후 폴리머를 경화시켜 실리콘 니트라이드 막을 형성시키는 것을 포함한다. 특정 방법들은 UV-경화 공정의 이용 없이 유동성 폴리머를 경화시킨다. 또한, 상술된 방법들에 의해 생성된 막이 기재된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207002811
첨부파일