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특허 실용신안

기판처리장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	주성엔지니어링(주)
출원번호	10-2020-0057054
출원일자	2020-05-13
공개번호	20200521
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 챔버; 상기 챔버 상부에 위치하는 제1전극; 상기 제1전극의 하부에 위치하고, 복수의 개구를 포함하는 제2전극; 상기 제1전극에서 연장되어 상기 제2전극의 복수의 개구로 연장되는 복수의 돌출전극; 및 상기 제2전극과 대향하고 기판이 안치되는 기판안치대를 포함하되, 상기 제2전극의 개구가 상기 제2전극의 상면의 개구면적과 상기 제2전극의 하면의 개구면적이 다르게 구현된 기판처리장치에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020200057054
첨부파일