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장비
장비 및 시설 기본정보
주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Hitachi |
| 모델명 | S-4300 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-05-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 연세대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B522 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 빛의 파장 이하 크기의 형상을 측정하지 못하는 광학 현미경과는 달리 전자 현미경은 파장이 0.05옹스트롱 정도인 전자빔을 광원으로 사용하여 수십나노미터급 형상을 관찰할 수 있습니다. 시료 표면에 한 점을 초점으로 전자 빔을 조사하면 표면에서 전자가 굴절되고 이차전자가 발생되어 표면에서 나오고 이 이차전자들을 수집하여 그 양에 대한 영상을 형상합니다. 또한 검출된 이차전자의 에너지 측정을 통하여 원소 분석도 수행할 수 있습니다.성능 및 구성 본 장비는 시편이 촬영되는 촬영 유닛 진공 펌프 측정용 컴퓨터 2대로 구성되어 있습니다. 촬영 유닛은 X-ray 분석유닛 메인 챔버 교환 챔버 XYZ-Tilt 4축 스테이지 전자 광학계 등으로 구성되어 있습니다. 최대 100만배 까지 영상을 확대 촬영 할 수 있으며 분해능은 1nm 입니다.활용분야 본 장비는 수 mm 형상에서부터 수nm의 CNT까지 형상 관찰 성분 분석에 이용됩니다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/201310221562825.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 서대문구 신촌동 연세대학교 134번지 연세대학교 산학협동연구관 3층 303호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-01-055283 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008352 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |