| 보유기관명 |
한국과학기술연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C702 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
마이크론 두께의 매우 얇은 박막의 기계적 물성을 평가하기 위한 장비로서 μN 수준의 하중과 nm 수준의 변형을 측정할 수 있는 높은 정밀도가 요구되는 장비임. 박막소재 개발 연구 수행 중 다양하게 제조된 박막의 기계적 물성을 측정함으로써 박막의 특성 개발중인 공정조건의 적적성을 판단할 수 있게 함.Nanomechanical Test System Includes the Following Components - 2 Dimensional Transducer Head Assembly - TriboScanner - Optem Optical Microscope with CCD Camera - Newport Automated Translation Stages - Dedicated Workstation - 4.1 Tribo Scan 7.0 Software Advanced Analysis & Automation Package New features beyond Version 6.0 - Exclusive In-situ Imaging - Equipment Rack Assembly - Diamond Tip for Indentation - Fused Quartz Standard Sample - Single Crystal Aluminum Standard 99.999% Pure Super Polished Sample - Acoustic Isolation Enclosure & Active Electronic Vibration Isolation System Active electronic vibration isolation system Environmental Isolation Enclosure- Tool Kit- Extended Force Transducer- NanoDMA T M - On-site Installation & Basic Training |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131023114015311.jpg |
| 장비위치주소 |
서울 성북구 하월곡동 39-1 한국과학기술연구원 L0 1층 0140 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2006-01-021366 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0004205 |
| 첨부파일 |
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