기술정보 > 장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

D-SIMS

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국과학기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B605
표준분류명	시험
시설장비 설명	특징 - AES XPS 그리고 Static SIMS도 깊이방향의 원소분포분석이 가능하지만 Dynamic SIMS는 보다 많은 이온으로 깊이방향 분석을 수행하기 때문에 분석시간이 상대적으로 짧아 단층 깊이에 대한 정보를 신속히 얻을 수 있는 장점이 있다. 또한 Static SIMS와 달리 분석하고자 하는 이온을 연속적으로 검출하기 때문에 수 ppm의 검출한계를 가지는 장점이 있다. 또 ESA(Electrostatic Analyzer)와 Magnetic Sector가 이중으로 달려있어 높은 질량 분해능을 실현할 수 있다.
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160921142109_200702076031 NFEC-2006-09-042989.jpg
장비위치주소	한국과학기술연구원 연구동(L5)
NFEC 등록번호	NFEC-2006-09-042989
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201902125959?cloudId=200702080220
첨부파일