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장비

엑스선 광전자분광기

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보유기관명	연세대학교 공동기기원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B521
표준분류명	화학·지구과학장비,물리·재료장비,시험·검�
시설장비 설명	X선을 시료에 쬐어서 방출되는 광전자의 에너지 측정을 통해 원소의 binding 에너지를 측정하여 시료 표면층의 조성 및 화학적 결합 상태 분석할 수 있는 장비임. 특히 시료 표면의 organic molecule의 화학결합상태나 오염정도를 측정할 수 있다. 2차원 평면에서의 원소 분포도를 얻을 수 있으며, low energy-Ar ion etching으로 damage를 최소화하여 에칭하면서 깊이방향 분석이 가능함. 표면에서 에칭하지 않고도 각도를 바꿔 실험함으로써 상대적인 depth profile을 얻을 수 있는 .Angle resolves XPS도 측정도 가능함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/Bn3GN1xJtiUkxZ6PSKex_w600.bmp
장비위치주소	첨단관 211호
NFEC 등록번호
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-yonsei_crf-00004
첨부파일