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장비

레이저증착시스템

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C500
표준분류명	기타
시설장비 설명	특징 본 장비는 반도체 식각시 식각깊이의 정보를 실시간으로 제공하는 장비이다. 장비 내부에서 발생한 레이저는 식각하는 샘플의 표면과 그 다음층 의 계면에서 각각 반사 되어 다시 장비로 입사된다. 입사된 두 레이저는 간섭무늬를 만들고 이로 인해 식각 깊이의 정보를 제공 할 수 있다.
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161026102640_200702072254 NFEC-2004-03-044381.jpg
장비위치주소	광주과학기술원 정보통신공학동
NFEC 등록번호	NFEC-2004-03-044381
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-NTIS-0006900?cloudId=200702080187
첨부파일