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장비

비접촉 3차원 미세형상측정기

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보유기관명	전남대학교 공동실험실습관
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A314
표준분류명	물리·재료장비
시설장비 설명	다양한 파장을 갖는 백색광을 기준면과 샘플표면에 조사하여, 반사되어 돌아온 광이 상호 중첩되어, 보강간섭과 상쇄간섭이 발생하도록 함. 이런 조건에서, 피에조 이송기를 이용하여 샘플과의 거리를 변경시키면서, 보강간섭이 일어나는 점을 계측하여 이미지를 형성함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/BoyBptsJX7fycrEGMBA5_w600.jpg
장비위치주소	전남대학교 공동실험실습관
NFEC 등록번호	NFEC-2009-12-077623
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-CCRF-00012
첨부파일