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장비
장비 및 시설 기본정보
전계방사형 주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | JEOL |
| 모델명 | JMS-6700F |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-11-14 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국교통대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 SEM&EDX는 500A-1um의 전자빔을 시료표면에 주사시켜 시료표면에서 발생하는 다양한 신호를 검출하여 물질의 형태 및 구조 성분 등의 정보를 얻 을 수 있는 분석기기이다. 특히 시료표면에서 방사되는 특성X선의 파잔과 강도를 X선 분광기로 측정하여 그 미소영역에 0.1%아성 함유 되어 있 는 원소를 정성 및 정량 분석하는 장치이다. 분석가능한 시료는 고체로서 분석할 수 있는 원소 범위는 일반적으로 11Na-92U이고 시료의 크기는 5um이상이면 분석가능하다. 시료의 형태를 알아보기 위한 확대범위는 최대 50만배까지이고 시료는 비파괴 분석법을 사용하므로 몇 번이고 재사용이 가능하다.구성및성능 -EDX -FE-SEM활용분야 -금속 및 세라믹스의 파단면의 형태 관찰 -시료내의 불순물의 위치 -Powder의 형태와 크기 관찰 -반도체 증착 두께 측정 -고분자의 형태와 크기 표면형상관찰 -조직의 형태 관찰 각종 바이러스의 외부형태 관찰 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/20131108112535147.jpg |
| 장비위치주소 | 공동실험실습관 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2004-11-000160 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013381 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |