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장비

시편절단기

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보유기관명	서울테크노파크
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C500
표준분류명	시험·검사장비
시설장비 설명	동작원리 : 절단한 웨이퍼 시편이나 기타 다른 시편의 절단면을 깨끗이 해서 관찰하기 위해 이 장비를 사용함. 시편이 홀더에서 떨어지지 않게 잘 접착한 후에 기준점을 잡아주고, 얼마나 갈아낼 것인지 레시피를 작성하고 장비를 동작시키면 회전하는 사포에 시편을 갖다대서 표면을 갈아냄. 총 5단계의 사포를 거쳐서 표면을 깨끗이 하는데, 각 단계마다 레이저로 시편의 높이를 측정해서 처음에 지정한 높이와의 차이가 줄어듦을 인지해서 공정이 완료됨.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/EEos79gGg4qeSjXyxn6S_w600.jpg
장비위치주소	서울테크노파크 310호
NFEC 등록번호	NFEC-2010-12-129733
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-seoultp-00014
첨부파일