기술정보 > 장비 | 기업공감원스톱서비스

장비

산용액 습식약품 처리기

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	서울테크노파크
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명	생산·공정장비
시설장비 설명	동작원리 : Wafer cleaning 및 etching 공정작업시에 사용이 되는 bench임. 주로, Acid를 이용하여 wafer 표면의 불순물이나, 박막을 제거하는데 사용이 되는 bench로서, 황산,인산,불산등 여러 산용액이 사용되는 장비라 주의를 요하는 장비임. 4“,6”,8“ wafer까지 cleaning이 가능함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/XkbCkKVKYrJs7ap3oOre_w600.jpg
장비위치주소	서울테크노파크 OPEN FAB104-1
NFEC 등록번호
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-seoultp-00038
첨부파일