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장비

습식화학약품처리기

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보유기관명	서울테크노파크
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C501
표준분류명	생산·공정장비
시설장비 설명	동작 원리 : 포토리소그래피 공정 중 develop 공정을 위해 bath 2개, QDR 2개, 울트라소닉 1개 존재. Coating을 위한 보조 wet bench를 두어 spin coater와 hot plate 설치. QDR 파트에는 퀵 드레인 라인, DI 샤워, N2 버블 시스템 구축.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/iQjHJXwdMJUmBa3OQMYQ_w600.jpg
장비위치주소	서울테크노파크 OPEN FAB 104
NFEC 등록번호	NFEC-2009-10-072537
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-seoultp-00060
첨부파일