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장비

8인치 수동 프루브 스테이션

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보유기관명	한국전기연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	D0
표준분류명	계측
시설장비 설명	특징 본 장비는 온웨이퍼 측정을 위해 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼척과 전기적 특성을 잴 수 있도록 프로브들로 구성되어 있다. 특히 온도 (<300도)를 가변할 수 있도록 업그레이드 되어 있으며 암실박스 내부에 설치되어 있어서 전자기파(외부의 광신호 및 전자기파)로부터 보호되어 있어서 다양한 측정이 가능하도록 구성되어 있다.
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201407/2014070811129799.bmp
장비위치주소	한국전기연구원 제3연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2003-04-040868
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-NTIS-0011755?cloudId=200702080237
첨부파일