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장비
장비 및 시설 기본정보
저압화학기상증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 유진테크 |
| 모델명 | BJM100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-10-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 포항공과대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 온도 약 700도 저압분위기에서 반응 Gas는 기판 위에서 화학반응을 하여 고품질의 박막이 성장 Bluejay M100 single Nitride 시스템은 고온을 이용한다. CVD와 유사하게 화학 반응은 웨이퍼 위에 질화막을 증착 시킨다. 이 공정은 고온(650 ~ 750℃) 과 저압(250 ~ 350 Torr)에서 수행된다.. 이 PM(process module) #1 #2는 TM(transport chamber)의 스테이션 #1 #2와 웨이퍼 센서가장착된 slot valve로 결합된다. PM platform clean front frame main system control rack 은 clean 및 service area에 위치한다. main power box heat exchanger 와 dry pump unit은 plenum area에 위치한다구성및성능 구성: Platform PM Main Control Rack PM Control Rack Clean Front Frame Monitor Rack Dry Pump Main Power Box Gas Scrubber etc. 성능: 박막의 두께 균일도 ±3%(1sigma) 이하저압화학기상증착기(LP-CVD System)의 활용분야는 다음과 같습니다. SiO2 Si3N4 Undoped Poly-Si Doped Poly-Si 박막 증착 PM platform clean front frame main system control rack |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200806/.thumb/20080602172621.jpg |
| 장비위치주소 | 경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-06-056047 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008523 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |