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장비

유기 세정 장치

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보유기관명	포항공과대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C502
표준분류명
시설장비 설명	유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 특징은 다음과 같습니다. Chemical Supply를 통해 공급되는 Chemical을 이용해 시료 상에 남아있는 유기물질을 제거유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 구성 및 성능은 다음과 같습니다. QDR Bath 1조 Strip Bath 1조 Photo 및 E-Beam Resist의 Strip 작업 가능 시료 표면의 유기 물질 및 이물질 제거유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 활용분야는 다음과 같습니다. photo 시편 세정 시료 표면의 유기 물질 및 이물질 제거 E-Beam Resist의 Strip 작업 가능
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110131161208.jpg
장비위치주소	경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터
NFEC 등록번호	NFEC-2008-06-056056
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008527
첨부파일