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장비 및 시설 기본정보
3차원 표면 측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Veeco |
| 모델명 | Dectak150 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-04-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 서울테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F804 |
| 표준분류명 | 기타장비 |
| 시설장비 설명 | 동작원리 : Stylus tip을 이용하여 시편 혹은 wafer의 표면을 측정하여 3D mapping을 포함하여 다각적인 분석자료를 제공하는 장비로서 100A 이하의 단차를 측정할 수 있음. 8 inch wafer까지 측정 가능한 설비로서 쉽고, 빠른 측정이 이뤄짐에 따라 분석 시간을 단축할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/cVJTvKDfaMKcd93BiuVI_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 서울테크노파크 OPEN FAB102-1 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-072560 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-seoultp-00004 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |