표면단차측정장비
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | KLA Tencor |
모델명 | P-16 + |
장비사양 | |
취득일자 | 2009-12-15 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C610 |
표준분류명 | 기타 |
시설장비 설명 | ○박막단차측정기기는 2um Radius(반지름) 60 degree(내각)의 탐침을 이용하여 Pattern 형태인 Profile을 분석하여 단차의 두께 및 고랑의 깊이를 0.1 Angstrom 의 분해능으로 측정하고 Line 외벽의 각도 및 Line 의 넓이의 값도 손쉽게 얻을 수 있습니다. |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201903/20190327101628682.jpg |
장비위치주소 | 한국생산기술연구원 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2019-01-250141 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201901246776 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |