감광제 제거기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 피에스케이(PSK) |
모델명 | DAS-2000 |
장비사양 | |
취득일자 | 2016-07-01 |
취득금액 |
보유기관명 | 나노종합기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C500 |
표준분류명 | 시험 |
시설장비 설명 | - 건식각 2GHz의 Microwave를 Plasma Source로 이용하여 PR을 제거하는 장치임. - 식각은 등방성으로 이루어지며 진행 가능한 Wafer Size는 6inch 및 8inch임. |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201902/2019021111034428.png |
장비위치주소 | 나노종합기술원 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2019-01-253320 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201901248626 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |