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장비

급속 열처리 시스템

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명	ZEUS
장비번호
제작사	에코피아
모델명	High Temp High Vacuum Annealing system Using Elect
장비사양
취득일자	2016-09-21
취득금액

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명	한국과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C601
표준분류명	시험
시설장비 설명	-고속으로 열처리를 하는 장비로 반도체 및 나노 기술에 활용 -12개의 할로겐 램프를 열원으로 사용하며 radiation transfer를 이용해 wafer의 온도를 올려 temperature uniformity를 조절하여 반도체 소자의 물성을 향상시키는 장비
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/202212/20221227102419866.jpg
장비위치주소	자연과학동(E6-2)
NFEC 등록번호	NFEC-2022-12-283876
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-202305267878?cloudId=202305233883
첨부파일