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장비 및 시설 기본정보
고분해능 집속이온빔시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Thermo Fisher Scientific |
| 모델명 | Helios G5 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2021-01-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | - 고 분해능 전자 이미지 및 이온 이미지 측정 - 미세단위의 나노소자제작 및 3차원 구조물 제작 - 3D 이미지 촬영 - 나노스케일 패터닝(에칭, 증착) - TEM / Atom Prob 시편 제작 - 반도체 회로 수정 등 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/202101/2021012595931624.png |
| 장비위치주소 | 중앙분석센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2021-01-267693 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202102250312 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |