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장비

금속식각장치

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보유기관명	나노종합기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C510
표준분류명	시험
시설장비 설명	구축 필요성 - 기 보유 중인 이종 Metal etcher인 ‘Oxford ICP380’의 경우 연구용 Manual 장치로서 금속 식각 재현성과 High quality를 요하는 NEMS 소자 공정과 High-K와 Noble metal 식각에서 Etch Depth CD bias Profile 및 CD Uniformity 등 제어가 어렵고 In-situ PR strip과 VDS 처리 시스템 미비로 Metal erosion 발생하고 있어 상기와 같이 문제 해결을 위한 전용 Metal Etcher을 구축함
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161025142528_20120330000000136639 NFEC-2012-03-160527.jpg
장비위치주소	카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원
NFEC 등록번호	NFEC-2012-03-160527
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201902146319?cloudId=200711140047
첨부파일