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장비

주사전자현미경

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보유기관명	전남대학교 공동실험실습관
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명	물리·재료장비
시설장비 설명	10-3Pa이상의 진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 음극선관(브라운관) 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치임. 주로 금속등의 도체, IC, 산화물등의 반도체, 고분자 재료나 세라믹등의 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 됨. 주로 2차전자가 시료의 형태관찰, 반사전자나 X선이 성분분석에 사용됨.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/gwXnUEnX8KWrorbUbSFX_w600.bmp
장비위치주소	전남대학교 공동실험실습관
NFEC 등록번호	NFEC-2008-06-076603
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-CCRF-00006
첨부파일