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장비
장비 및 시설 기본정보
마그네트론 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 보림시스템 |
| 모델명 | Magnetron Sputtering System |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-02-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201103/.thumb/20110324142537.JPG |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 덕진동 150 한국원자력연구원 본관동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-10-029067 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0005143 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |