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장비

패턴 임계치수 측정 주사전자현미경

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보유기관명	대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명	시험
시설장비 설명	1. 장비설명 (100자 이상 기록 요망) - 본 장비는 6인치 Si wafer scale에 대하여 Photo-리소그래픽 공정 후 PR(photo-resist) 패턴과 etching 후 패턴에 대하여 Critical Dimension (CD)을 측정하는 장비임. - Wafer scale에서의 패턴 CD의 균일도 평가에도 필수적인 장비임. - 장비 (ex. photo litho. & etcher) 성능평가 및 공정안정화 작업 시에도 필요한 장비임.
장비이미지코드	https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/202008/20200820163834935.png
장비위치주소	대구경북과학기술원 중앙기기FAB지원센터
NFEC 등록번호	NFEC-2020-08-264561
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202008265962
첨부파일