비접촉 3차원 측정기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Micro Vu Corporation |
모델명 | microvu M5410125 |
장비사양 | |
취득일자 | 2002-01-22 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국산업기술대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | F201 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | ▣ 모 델 : Micro M5410125 - 제 조 국 : 미국 - 제작회사 : Micro Vu Corp ◈ 개요 ▸ 소형의 반도체 제품이나 전자 기판의 배열 등 소형 제품이 측정 시 사용. ▸ 측정원리 : 레이저 빛을 통하여 시료에 비춰 반사되는 양으로 형상측정 ▸ 기본 치수 거리 및 기하공차에 대한 측정값 출력가능구성및성능 XYZ Travel: 360×360×140mm Linear Accuracy: 0.003mm overall for XY 반복정밀도: 0.001mm 분해능:0.0005 Guide방식: Air 무게: 1250Kg Measuring Stage Size: 430×406mm Dimensions: 970(W)×1100(D)×1800(H) Weight Capacity: 20Kg Power: 220V 60Hz Air Supply: 8활용분야 비접촉 3차원 측정 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/92A7981DF7B8B9B949256D3C000D4CE3.jpg |
장비위치주소 | 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 산기대학로 237 한국산업기술대학교 산학융합캠퍼스 1층 102 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-009451 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0012835 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |