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장비

플라즈마 에쳐

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보유기관명	연세대학교 비아이티 마이크로 팹 센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C510
표준분류명	생산·공정장비,기타장비
시설장비 설명	LAM research사의 RB4510 장비를 개조함. : Si-based semiconductor device fabrication(MOSFET, CMOS, PMOS, NMOS, MOS capacitor, Diode, MIM capacitor, Resistor, etc) : Microelecromechanical systems (MEMS), Nanoelectromechanical systems (NEMS), NE : Thin film transistor (TFT), Photonics (Light emitting diode-LED, AMOLED, etc), Organic electronic devices 등 산화막 및 질화막 미세 패턴을 포함하는 디바이스 제작에 활용가능함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/BEGyJpeUpHcsy9jSziUu_w600.jpg
장비위치주소	서울 서대문구 연세로 50 첨단과학기술연구관 B206호
NFEC 등록번호	NFEC-2008-08-065169
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-YS_BIT-00024
첨부파일