- HOME
- 기술정보
- 장비
장비
장비 및 시설 기본정보
비접촉3차원표면형상측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Olympus |
| 모델명 | LEXT OLS 3000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-01-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 충남테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ◈ 공초점 방식으로 레이져로 시료 표면을 스캔하여 고분해능의 3차원 영상을 획득하고미소 부위에 대한 3차원 dimension 측정 및 이미지 획득미소 부위의 넓이 부피 조도 측정 등 응용범위가 다양함*Mechanical ◈ Sample size : up to 100~150mm thick ◈ Sample mass : up to 50 kg ◈ Sample stage travel : 450mm ☓800mm(Y) motorized stage *Scanner Unit ◈ Scanning method: MEMS optical scanner ◈ XY resolution: 0.12um ◈ Optical Zoom: 1X~6X 0.1step ◈ Image scans size: 1024x128x12 bits ~1024 x 1024x12 bits ◈ Scan speed: 5f/s (image size 1024x768) *Z-Drive ◈ Up and down movement of revolver with built-in scale(resolution of 5 nm) ◈ Minimum step: 0.01m ◈ Minimum Z display resolution: 0.001um ◈ Z drive stroke: 100mm (Coarse and fine adjustment) *Field of View and Monitor Magnification ◈ Field of View: 2560X2560um ~ 21X21um ◈ Monitor magnification:- Max.14400 X (that images are viewed on a 19-inch LCD monitor) ◈ Repeatability Target * X direction: Less than 3n-1=0.04um (On the condition that objective100 is used) * Z direction: Less than 3n-1=0.15+0.008Lum (L=measurement length)◈ Sample 표면 형상의 다양한 2D 3D 이미지 측정 ◈ Sample의 높이 넓이 부피 조도 막두께 등의 측정 및 분석 ◈ Sample의 real time 이미지 활용 및 취득 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110219175132.jpg |
| 장비위치주소 | 충남 아산시 음봉면 동암리 33-1 디스플레이센타 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-019391 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0003918 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |