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장비

전자빔 증착기

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보유기관명	광운대학교 산학협력단
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C504
표준분류명
시설장비 설명	Metal 및 Dielectric Material에 대해 전자빔 주사를 수행하여 원하는 박막을 Substrate위에 증착시키는 장치이다. 증착시에는 진공도를 유지한 상태에서 전자빔을 조사한다. 조사시에는 전자빔이 타겟을 벗어나지 않도록 조이 스틱을 조절하여 타겟에 정확히 맞추는것이 가장 핵심적인 기술이다. 증착시 가장 핵심적이라고 할 수 있다.Ⅰ. PROCESS CHAMBER UNIT - MATERIAL : SUS 304L - SIZE : 620(W) x 620(D) x 550(H) (FRONT DOOR TYPE) Ⅱ. VACUUM PUMPING UNIT - CRYO PUMP & He COMPRESSURE . PUMPING SPEED : 2500 L/S(N2) 이상의 제품 사용 - DRY PUMP : 1 EA . PUMPING SPEED : 800 L/M 이상의 제품Metal 및 Dielectric Material에 대해 전자빔 주사를 수행하여 원하는 박막을 Substrate위에 증착시키는데 사용하는 장치이다. 증착시에는 진공도를 유지한 상태에서 전자빔을 조사한다
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201509/.thumb/20150917142935309.JPG
장비위치주소	서울특별시 노원구 광운로 20 (월계동) 광운대학교 차세대 PDP공동연구지원센터
NFEC 등록번호	NFEC-2007-10-015497
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0002985
첨부파일