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장비

세정장치 (for acid)

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보유기관명	나노종합기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명	- HF/SPM cleaning Au/Cu/Ni/Cr/Oxide etching KOH etching 공정 가능 - HF/SPM 용 bath 각각1ea (8''가능) - QDR용 bath 1ea(8''가능) - KOH etching bath(8''가능) 1ea - metal etching용 bath 1ea 제어부 - 각 bath 콘트롤 판넬 메인 전원 ON 후 필요한 공정에 따라 recipe 선택 후 진행 * 주시험 분야 반도체 및 MEMS 공정 cleaning 및 etching
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/2014051315501094.JPG
장비위치주소	대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 1층 FAB
NFEC 등록번호	NFEC-2007-11-047829
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013625
첨부파일