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장비

3D측정기

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보유기관명	삼성테크윈
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F201
표준분류명
시설장비 설명	광간섭을 이용한 3차원 표면형상측정장비 -. 단색파장광을 이용한 광위상 간섭측정법과 격자간 간섭을 이용한 모아레 측정법을 사용하여 높은 분해능으로 고속 자동측정이 가능토록 한 장비 -. 평면방향으로는 기존 광학식 현미경의 분해능과 동등한 수준이나 광축인 수직방향으로는 nm이하의 분해능을 가지며 수nm 에서 수백um 까지의 다양한 높이를 높은 분해능으로 측정할 수 있으며 특히 카메라를 통하여 보이는 영역의 높이분포를 한번에 측정할 수 있는 특징을 가짐 -. 응용분야는 기판상의 비아홀 패드형상 표면 거칠기 측정 등에 이용할 수 있으며 측정환경 사용자 설정 및 측정결과 자동저장 통계해석 등이 가능한 장비임
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125192323.jpg
장비위치주소	경남 창원시 성주동 42번지 삼성테크윈
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-136853
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024122
첨부파일