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논문 기본정보
반사형 디지털 홀로그래피를 이용한 Molybdenum 박막의 손상 측정
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 비파괴검사학회지 = Journal of the Korean society for nondestructive testing |
| ISSN | 1225-7842, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 김경석,정현일,신주엽,마혜준,권익환,양승필,홍정기,정현철 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2015-01-01 |
| 초록 | 전자제품에 필수적으로 사용되는 전자회로의 제작 시, 반도체 위에 증착하는 박막의 산화를 방지하기 위하여 molybdenum을 증착한다. Molybdenum 박막 증착 시 표면의 particle 또는 dust의 존재는 밀착력 감소 및 성능 저하, 수명 단축, 안전도 저하를 유발한다. 본 논문에서는 particle의 유무에 따른 molybdenum 박막 증착부의 변화를 보기 위하여, 두 가지 glass substrate를 대상으로 손상 측정 실험을 하였다. Sputtering 증착 기법으로 molybdenum이 glass substrate에 직접 코팅이 되는 clean과 dirty 두 종류의 molybdenum 박막을 제작하고, 손상 측정을 위해 반사형 디지털 홀로그래피를 구성하였다. 반사형 디지털 홀로그래피는 간섭계의 구성이 손쉽고 다양한 배율렌즈를 적용하여 측정영역에 다양성을 줄 수 있으며, 측정시간이 타 기법에 비해 짧다는 장점을 가진다. 실험 결과로부터 반사형 디지털 홀로그래피가 박막의 손상 및 결함 측정에 유용한 기술임을 확인하였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201527359533720 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | 반사형 디지털 홀로그래피,몰리브덴 박막,레이저간섭계,각 스펙트럼법,레이저 비파괴검사,손상 측정,Reflection Type Digital Holography,Molybdenum Thin Film,Laser Interferometer,Angular Spectrum Method,Laser Testing Method,Damage Measurement |