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논문 기본정보
기판온도가 Nb2O5/SiO2 버퍼층위에 증착한 ITO 박막의 광학적 및 전기적 특성에 미치는 영향
논문 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 한국정보통신학회논문지 = Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering |
| ISSN | 2234-4772, |
| ISBN |
논문저자 및 소속기관 정보
| 저자(한글) | 정양희,강성준 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 발행연도 | 2016-01-01 |
| 초록 | 본 연구에서는 $Nb_2O_5/SiO_2$ 두개의 버퍼층위에 기판온도 (상온~ $400^{ circ}C$ ) 에 따른 ITO 박막을 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착하여 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. 기판온도가 상승함에 따라 그레인 크기 증가에 기인한 결정성 향상 때문에 비저항이 낮아지는 경향을 나타내었다. 기판온도 $400^{ circ}C$ 에서 증착한 ITO 박막이 $3.03{ times}10^{-4}{ Omega}{ cdot}cm$ 의 비저항과 $86.6{ Omega}/sq.$ 의 면저항으로 가장 우수한 값을 나타내었다. 광학적 특성을 측정한 결과, 기판온도가 상승함에 따라 가시광 영역 (400~800nm) 에서의 평균 투과도는 증가하였으며 색도 ( $b^*$ ) 값은 감소하였다. $400^{ circ}C$ 에서 증착한 ITO 박막의 평균 투과도와 색도 ( $b^*$ ) 는 85.8% 와 2.13 으로 버퍼층이 삽입되지 않은 ITO 박막의 82.8% 와 4.56 에 비해 상당히 향상된 결과를 나타내었다. 이를 통해 $Nb_2O_5/SiO_2$ 두개의 버퍼층을 도입한 ITO 박막은 인덱스 매칭 효과로 인해 투과도 및 색도 ( $b^*$ ) 등의 광학적 특성이 현저히 향상되었음을 확인할 수 있었다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201617338763833 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | ITO 박막, lt,TEX gt,$Nb_2O_5/SiO_2$ lt,/TEX gt,버퍼층,면저항,투과도,색도,인덱스 매칭,ITO thin film, lt,TEX gt,$Nb_2O_5/SiO_2$ lt,/TEX gt,buffer layer,Sheet resistance,Transmittance,Chromaticity,Index matching |