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특허 실용신안

포토마스크의 표면 검사장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	엘지전자 주식회사
출원번호	10-2002-0059937
출원일자	2002-10-01
공개번호	20080509
공개일자	2005-01-13
등록번호	10-0465710-0000
등록일자	2004-12-30
권리구분	KPTN
초록	본 발명에 의한 포토마스크의 표면 검사장치 및 방법은 일면이 관측가능한 투명부재로 형성되어 밀폐된 프레임과, 상기 프레임 내부에 설치되어 포토마스크가 장착되는 포토마스크 장착수단과, 상기 포토마스크 장착수단으로 광을 조사토록 상기 프레임의 내측에 설치되고 광량 조절이 가능한 제 1조명수단과, 상기 프레임의 외측에 설치되고 광의 조사각을 자유롭게 조절가능한 제 2조명수단을 포함하여 구성되어, 검사자 및 대기중에 포함된 이물질로 인한 2차오염이 방지되고, 광량의 조절 및 빛의 산란각도를 자유롭게 조절할 수 있어 검사신뢰성을 증가시킴은 물론 검사가 용이함으로 작업시간이 단축되는 효과가 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020020059937
첨부파일