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특허 실용신안

플라즈마 에칭을 이용한 의료용 초음파 탐촉자

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 리노셀
출원번호	10-1999-0032436
출원일자	1999-08-07
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 의료용 초음파 진단기기에 사용되는 초음파 탐촉자(Ultrasonic- probe)의 개량에 관한 것으로, 진동자(압전 세라믹)의 표면에 플라즈마 에칭 (Plasma Etching)으로 표면 처리하여 접합력을 크게 향상시킴으로써 기존의 일반 몰딩(Molding)방식이나 단순 접착방식에 의한 제품에 비하여 각 부분간의 결합력이 크게 향상되어 제품의 특성 및 내구성 측면에서 우수한 성능을 얻을 수 있도록 한 것이다. 즉, 적정 진공도와 압력을 가지는 챔버 내에 초음파 진동자(압전 세라믹)를 넣고, 미리 정해놓은 시간 동안 아르곤(Ar) 가스와 고주파 전원(RF Power)을 이용하여 플라즈마 방전시키면 초음파 진동자의 표면이 플라즈마 방전에 의한 에칭 처리로 접착력을 크게 향상시키도록 함으로써 제품의 성능에는 영향을 미치지 않으면서 감도와 접합력이 우수하고 내구성이 뛰어난 제품을 얻을 수 있도록 한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1019990032436
첨부파일