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특허 실용신안
특허/실용신안
펠리클 프레임, 펠리클, 펠리클의 제조 방법 및 펠리클 프레임의 평가 방법
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 미쯔이가가꾸가부시끼가이샤 |
| 출원번호 | 10-2024-7008345 |
| 출원일자 | 2024-03-12 |
| 공개번호 | 20240328 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 펠리클 프레임은, 포토마스크에 점착 가능한 점착층이 마련되는 한쪽의 단부면과 펠리클막을 지지하는 다른 쪽의 단부면을 갖는다.펠리클 프레임은, 직사각 형상의 펠리클 프레임(단, 석영 유리를 포함하는 펠리클 프레임은 제외함)이다.상기 한쪽의 단부면의 비틀림량 Δd가 10㎛ 이하이다.상기 한쪽의 단부면의 비틀림량 Δd는, 상기 한쪽의 단부면의 4 코너의 4 지점 중 3 지점을 통과하는 가상 평면과 나머지 1 지점과의 거리의 최댓값을 나타낸다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020247008345 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |