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특허 실용신안

연X선 광원장치 및 EUV 노광장치 및 조명방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2002-0064424
출원일자	2002-10-22
공개번호	20080509
공개일자	2009-05-04
등록번호	10-0895227-0000
등록일자	2009-04-21
권리구분	KPTN
초록	(과제) 복수의 방전 플라즈마 광원을 묶음으로 한 경우 각 광원으로부터의 광속을 유효하게 활용할 수 없다. (해결수단) 복수의 점광원과, 복수의 점광원으로부터의 광을 일점으로 집광시키는 집광반사광학계와, 상기 집광반사광학계를 통과한 각 광원으로부터의 광을 반사시키는 각도가변미러와, 상기 각도가변미러에 입사되는 광속에 따라 각도가변미러의 각도를 변경함으로써 각 점광원으로부터의 광속을 동일 방향으로 반사시키는 각도제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 연X선 광원장치.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020020064424
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