X선 투영 노광장치, X선 투영 노광방법 및 반도체디바이스
기관명 | NDSL |
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출원인 | 가부시키가이샤 니콘 |
출원번호 | 10-2002-7009967 |
출원일자 | 2002-08-02 |
공개번호 | 20080509 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 소망의 미세 패턴을 웨이퍼 상의 회로 패턴에 고정밀도로 중첩하여 노광할 수 있는 X선 투영노광장치를 제공한다. 이 X선 투영노광장치는, X선 원과, X선 원으로부터 발생되는 X선을 소정의 패턴을 갖는 마스크 상에 조사하는 X선 조명광학계와, 이 마스크를 지지하는 마스크 스테이지와, 마스크로부터의 X선을 받아 이 패턴의 이미지를 레지스트를 도포한 웨이퍼 상에 투영하는 X선 투영광학계 (1) 와, 웨이퍼 (4) 를 지지하는 웨이퍼 스테이지 (5) 와, 웨이퍼 (4) 에 형성된 마크 (4a) 의 위치를 검출하는 마크위치 검출기구 (6) 를 구비한다. 또한 X선 투영광학계 (1) 의 노광시야의 중심 (36) 은 이 광학계 (1) 의 중심축 (1a) 으로부터 떨어진 위치에 있다. 또 마크위치 검출기구 (6) 의 중심축 (6a) 은 X선 투영광학계 (1) 의 중심축 (1a) 에 대하여 노광 시야측에 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020027009967 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | |
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