| 초록 |
연구목표 ◦ 최종 연구목표 [광기반 국가전략수요 측정표준기술 개발] - 3D ToF(Time Of Flight) 카메라 용 VGA급 소자 개발 - UV LED의 복사선속 측정 기술 개발 - 수중음향 정밀측정 기술 개발 - 차세대 반도체/디스플레이 공정에서의 멀티스케일 정밀구조계측을 위한 핵심측정기술 개발 - 가상 현실 오디오를 위한 음장 측정 기술 개발 및 증강현실 오디오를 위한 전산음장면분석 기술 개발 [항법 기준 클럭 및 On-chip 측정표준 기술개발] - 한국형 국가항법시스템 기준클럭 발생을 위한 위성탑재형 원자시계 기반 기술개발 및 지상국 동기신호 제공을 위한 고성능 레이저냉각 기반 원자시계 핵심기술 개발 - 주파수 측정 기반 on-chip 센서 플랫폼 구축을 위하여 초소형 광주파수빗, MEMS 증기셀 센서, 다이아몬드 NV 색중심 센서를 2 cm x 2 cm 칩 위에 제작하고 이들 사이에 교정 메커니즘을 구현 [지진관측장비의 성능 검증 기반기술 확보] - 지진관측장비의 성능 검증 기반기술 확보 [전자기기반 국가전략수요 측정표준 기술개발] - 양자기반 다기능 샘플링 정밀 측정기 (Universal Quantum Sampling Bench: UQSB) 개발 - 산업체 수요 맞춤형 5G 측정기술 발굴/측정플랫폼 구축 - 글로벌 측정표준 선도형 밀리미터파 전력표준 확립 - 신규 측정표준 준비형 초고속 펄스표준 기반 확립 - 전기광학 프로브 효과도 평가시스템 및 소형함체 평가기술 개발 - DCCT 비율 교정기술 개발 ◦ 해당단계 연구목표 [광기반 국가전략수요 측정표준기술 개발] - 3D ToF(Time Of Flight) 카메라 용 VGA급 소자 개발 (TRL 3단계) - UV LED의 복사선속 측정 기술 개발 – 정확도 5 %의 복사선속 눈금 및 서비스 확립 - 수중음향 정밀측정 기술 개발 - 차세대 반도체/디스플레이 공정에서의 멀티스케일 정밀구조계측을 위한 핵심측정기술 개발 - 음장 마이크로폰의 유효 주파수 범위 평가 지표 개발 및 음장 마이크로폰 어레이 개발 및 증강현실 오디오를 위한 음원 분리 및 음상 외재화 [항법 기준 클럭 및 On-chip 측정표준 기술개발] - 위성원자시계 개발을 위한 준 엔지니어링 위성탑재원자시계 개발 - 소형 모바일 고성능 레이저냉각 원자시계 핵심기술 개발 - 마이크로디스크 공진기 기반의 on-chip 광주파수 빗 제작 및 평가 - 광주파수 빗을 이용하여 칩스케일 증기셀 기반 온도 센서를 교정하고 이를 바탕으로 다시 다이아몬드 NV 색중심 센서의 고해상도 측정 이미지를 교정하는 on-chip 플랫폼 구현 [지진관측장비의 성능 검증 기반기술 확보] - 0.01 Hz 급 수평방향 가진기 개발 및 성능평가 - 지진관측장비 성능 검증 기반기술 확립 [전자기기반 국가전략수요 측정표준 기술개발] - 차세대 양자전압 원기 개발 - 다기능 샘플링 측정기 (Universal Sampling Bench: USB) 성능 고도화 - 전기표준 분야별 샘플링 측정 패키지 개발 - 평판구조 임피던스 측정기술 개발 및 측정플랫폼 구축 - 5G 디바이스 모델링/분석/측정 - 밀리미터파 (W-/D- 대역) 전력원기 평가/분석 - 1 GHz ~ 110 GHz 광대역 펄스 측정 표준 확립 - 전기광학 프로브 효과도 평가시스템 및 소형함체 평가기술 개발 - DCCT 비율 교정기술 개발 연구내용 ◦ 1년차 연구내용 [광기반 국가전략수요 측정표준기술 개발] - 3D ToF(Time Of Flight) 카메라 용 VGA급 소자 개발 · 2×2 센서 어레이 설계 제작 · ToF 어레이 센서 구동 회로 개발 · 센서 성능 평가 - 수중음향 정밀측정 기술 개발 · 피스톤폰 기반 하이드로폰 저주파 감도 비교교정 기술 개발 - UV LED 복사선속 측정기술 개발 · UV LED용 측각분광복사계 개발 - 차세대 반도체/디스플레이 공정에서의 멀티스케일 정밀구조계측을 위한 핵심측정기술 개발 · 박막 측정을 위한 반사계기반 측정 광학계 및 알고리즘 설계 및 구현 · 분광간섭계기반 측정시스템을 통한 후막(기판) 두께 측정 범위 연구 · 공통 측정가능 두께 범위에서의 두께 측정 결과 비교·분석 · Haidinger 간섭신호 해석을 이용한 투명기판 두께측정 모듈 개발 · 대면적 평면도/굴곡 검사용 모바일 PMD 시스템 설계 및 제작 - 음장 측정 마이크로폰의 유효주파수 평가 지표 개발: · 가상현실 오디오 신호의 스펙트럼 및 사용자의 음원 위치 추적 능력 구현 · 기존 음장 마이크로폰의 유효주파수 평가: 기존 tetrahedral array의 유효 주파수 평가 및 가상현실 오디오의 결과 신호 성능 평가 [항법 기준 클럭 및 On-chip 측정표준 기술개발] - 위성원자시계 요소기술 설계 - 레이저냉각 원자시계 마이크로파 분광신호 관측 및 분석 - 이온 주입 공정을 통한 2차원 고밀도 NV 색중심 생성 - 증기셀-색중심 동시 분광 플랫폼 설계 - 마이크로 디스크 광공진기 설계 및 제작 - 광공진기에 광자를 전달할 수 있는 레이저 시스템 구축 [지진관측장비의 성능 검증 기반기술 확보] ◦ 수평 가진 시스템 제작 (하한주파수: 0.01 H, stroke: 1,000 mm) - 개념설계, 상세설계, 제작 - 변위 측정 간섭계 구성 ◦ 지진센서 성능 평가 - tilt table을 이용한 감도 평가 ◦ 표면 유속센서 측정원리 개발 [전자기기반 국가전략수요 측정표준 기술개발] - 무냉매 순환형 냉동기 개발 (1/2) - USB의 확장성/범용성 확보를 위한 패키지 표준화 설계 - 고주파 샘플러 평가기술 개발 (1/2) - 평판구조 임피던스 측정기술 개발 및 측정플랫폼 구축 - 반도체 소자 모델링 연구 (100 MHz ~ 26.5 GHz) - 밀리미터파 전력원기 평가(W-대역) 및 분석 (D-대역) 연구 - 밀리미터파 전력원기 선행연구 I - 전기광학 기반 샘플링 시스템 구축 및 불확도 평가 - 동축선로의 임피던스 측정기술 개발 및 불확도 분석 - 광대역 펄스표준 확립 - 전기광학 프로브 및 수신 시스템 개발 - 효과도 평가시스템 및 소형함체 평가기술 개발 - 교정원리 고안 및 교정시스템 설계구축 - 100:1, 100 A까지 비율 평가 ◦ 2년차 연구내용 [광기반 국가전략수요 측정표준기술 개발] - 3D ToF(Time Of Flight) 카메라 용 VGA급 소자 개발 · 640×480 센서 어레이 설계 · 근적외선 펄스 광원 제작 · 송수신 광학계 개발 - 수중음향 정밀측정 기술 개발 · 제한된 수중음향 측정환경에서 반사에 의한 영향 고찰 및 신호처리 기술 개발 - UV LED 복사선속 측정기술 개발 · UV LED 복사선속 측정서비스 개시 - 차세대 반도체/디스플레이 공정에서의 멀티스케일 정밀구조계측을 위한 핵심측정기술 개발 · sub-㎛ 두께 박막 측정을 위한 측정 시스템 및 알고리즘 보완 설계 및 구현 · 반사계 측정 시스템과 분광간섭계 시스템의 통합 구성을 위한 광학계 설계 및 구현 · 다중 광원 고속 스위칭을 이용한 간섭식 투명기판 두께측정 기술 개발 · PMD 시스템 현장적용을 위한 광학 모델 및 수치계산 알고리즘 개발 - 음장 측정 마이크로폰 어레이 설계: · 유효 주파수 100 Hz - 9 kHz 범위 기준 마이크로폰 어레이 설계 · 마이크로폰 개수 대비 성능을 극대화한 상용 마이크로폰 어레이 설계 · 음장 측정을 통한 사용자 귀 위치 음압 신호 예측 기술 개발 [항법 기준 클럭 및 On-chip 측정표준 기술개발] - 위성원자시계 요소기술 제작 및 평가 - 레이저냉각 원자시계 안정도 평가 - NV 색중심 광시야 현미경 구축 - 증기셀 도플러 분광 셋업 구축 - 마이크로 디스크 광공진기에 광자를 전달하여 커플링 확인 - on-chip 공진기의 Q값 측정 및 레이저 시스템 평가 [지진관측장비의 성능 검증 기반기술 확보] - 수평축 가진 시스템 제어 기술확립 - 가진 시스템 cross-axis motion 측정 - 피드백 제어용 엔코더와 간섭계간 calibration - 지진계 성능 검증기술 개발 - step calibration table을 이용한 지진센서 성능 검증 - 표면 유속센서 측정원리 구현 [전자기기반 국가전략수요 측정표준 기술개발] - 10 V PJVS (KRISS QuVolt) 교정실 구축 - TCP/IP 기반 원격 관리망 구축 - 무냉매 순환형 냉동기 개발 (2/2): 온도 안정성 |
