| 초록 |
최첨단 글로벌 반도체산업은 nano-scale 소자의 미세화와 복잡한 제조공정/소재 및 설계의 혁신으로 최근 국가 간 기술경쟁력의 핵심 분야로 자리매김하고 있어, 반도체 제품의 품질 및 생산성 우위 선점을 위해 제조 환경, 즉 클린룸(Cleanroom) 제어 기술이 매우 중요하다. 클린룸 기술은 제품의 불량 및 수율과도 매우 밀접한 연관성이 있어 반도체 선진국의 전략산업으로 성장하고 있으나 아직까지 국내 기술은 단순 개별장비 운영에 국한되어 있고, 신청정기술 도입의 중요성에 대한 인식이 부족하여 실내공기질(air quality) 청정 시스템은 상대적으로 더디게 발전하여왔다. 클린룸의 가장 기본적인 기능은 냉/난방, 환기, 공조 장치와 고효율 필터를 사용하여 관리 기준에 부합하는 실내 공기압, 온도, 습도를 유지하고 오염물질이 제거된 공기의 순환을 통해 청정 공기질을 지속적으로 유지하는 것이다. 글로벌 청정 반도체의 제조 환경을 구축하기 위해 국제적으로 공인된 국제표준화기구에서 제정한 클린룸 표준(ISO 14644)을 준수하여 청정 클린룸의 환경품질을 보증하고 미세오염으로부터의 제품 손상을 사전에 차단하고 있다. 따라서 본 보고서에서는 글로벌 반도체 업체의 최신 클린룸 기술 및 국제 클린룸 청정품질 표준 등에 관한 현황을 조사하고, 이를 통해 차세대 반도체 클린룸 기술의 나아갈 방향에 대해 고찰하고자 한다. |
